加速度振動(dòng)傳感器按工作原理可分為壓電式、壓阻式和電容式。
1、壓電式加速度振動(dòng)傳感器
壓電式傳感器是通過(guò)利用某些特殊的敏感芯體受振動(dòng)加速度作用后會(huì)產(chǎn)生與之成正比的電荷信號(hào)的特性，來(lái)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)加速度的測(cè)量的，這種傳感器一般都具有測(cè)量頻率范圍寬、量程大、體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單堅(jiān)固、受外界干擾小以及產(chǎn)生電荷信號(hào)不需要任何外界電源等優(yōu)點(diǎn)，它大的缺點(diǎn)是不能測(cè)量零頻率信號(hào)。
1）按敏感芯體材料
按敏感芯體材料分為壓電晶體（一般為石英）和壓電陶瓷兩類(lèi)。壓電陶瓷比壓電晶體的壓電系數(shù)要高，而且各項(xiàng)機(jī)電系數(shù)隨溫度時(shí)間等外界條件的變化相對(duì)較小，因此一般更常用的是壓電陶瓷。
2）按敏感芯體結(jié)構(gòu)形式
按敏感芯體結(jié)構(gòu)形式分為壓縮式、剪切式和彎曲變形梁式。壓縮式結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)格便宜，但是不能有效排除各種干擾；剪切式受干擾影響小，目前為常用，但是制造工藝要求較高，所以?xún)r(jià)格偏高；彎曲變形梁式比較少見(jiàn)，其結(jié)構(gòu)能夠產(chǎn)生較大的電荷輸出信號(hào)，但是測(cè)量頻率范圍較低，受溫度影響易產(chǎn)生漂移，因此不推薦使用。
3）按信號(hào)輸出的方式
按信號(hào)輸出的方式分為電荷輸出式和低阻抗電壓輸出式（ICP）。電荷輸出式直接輸出高阻抗電荷信號(hào)，必須通過(guò)二次儀表轉(zhuǎn)換成低阻抗電壓讀取，而高阻抗電荷信號(hào)較容易受干擾，所以對(duì)測(cè)試環(huán)境、連接線(xiàn)纜等的要求較高；而ICP型傳感器內(nèi)部安裝了前置放大器，直接轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)輸出，所以相對(duì)有信號(hào)質(zhì)量好、噪聲小、抗干擾能力強(qiáng)、能實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，目前正逐步取代電荷輸出式傳感器。
2、壓阻式
加速度振動(dòng)傳感器 壓阻式傳感器的敏感芯體為半導(dǎo)體材料制成電阻測(cè)量電橋來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量加速度信號(hào)，這種傳感器的頻率測(cè)量范圍和量程也很大，體積小重量輕，但是缺點(diǎn)也很明顯，就是受溫度影響較大，一般都需要進(jìn)行溫度補(bǔ)償。
3、電容式
加速度振動(dòng)傳感器 電容式傳感器中一般有個(gè)可運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊與一個(gè)固定電極組成一個(gè)電容，當(dāng)受加速度作用時(shí)，質(zhì)量塊與固定電極之間的間隙會(huì)發(fā)生變化，從而使電容值發(fā)生變化。它的優(yōu)點(diǎn)很突出，靈敏度高、零頻響應(yīng)、受環(huán)境（尤其是溫度）影響小等，缺點(diǎn)也同樣突出，主要是輸入輸出非線(xiàn)形對(duì)應(yīng)、量程很有限以及本身是高阻抗信號(hào)源，需后繼電路給予改善。
相比之下，壓電式傳感器應(yīng)用更為廣泛一些，壓阻式也有一定程度的應(yīng)用，而電容式主要于低頻測(cè)量。
